先端機能材

PureBeta｜超高純度ファインセラミック SiC部材カタログダウンロード

下記リンクよりPureBeta™製品のPDFカタログをダウンロードすることができます。

高純度ファインセラミックス（SiC）部材　総合カタログ

PureBeta 高純度ファインセラミックス（SiC）部材 総合カタログ（1.5MB）

ダミーウェハ

PureBeta-DW 超高純度SiC焼結体ダミーウェハ（2.7MB）

ヒーターユニット

PureBeta-HU 超高純度SiCヒーターユニット（1.4MB）

PureBeta-HH 枚葉式アニール装置用　急速昇温ヒーターユニット（2.0MB）

PureBeta-MH 超高緻密・高耐久ファインセラミックス（SiC）ヒーター（735KB）

サセプター・治具

PureBeta-CS 化合物半導体製造用治具 CSシリーズ（1.5MB）

電極・リング

PureBeta-SV CVDコーティング 超高純度ホットプレス焼結体（1.7MB）

サセプター・治具

PureBeta-TG PBターゲット（1.3MB）

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