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PureBeta｜超高純度ファインセラミック SiC部材
材料の特性比較
※表の値は代表値です。
各種物性
不純物含有量
- バルク：グロー放電質量分析（GD-MS）による
- 表面：全反射蛍光X線分析（TXRF）による
- DL：検出下限
※上記分析値は代表値であり製品の純度を保証するものではありません。
耐薬品性（PureBeta-S）
PureBeta-Sダミーウェハの形状プロファイル
