PureBeta｜超高純度ファインセラミック SiC部材
ブリヂストンはタイヤを中心に事業を展開するグローバルカンパニーです。当社は従来より研究開発活動に投資を行い、数多くの実績をあげてきました。
タイヤで培った高水準の高分子技術を駆使し、またブリヂストンの有するナノテクノロジーの粋を集め、世界最高レベルの高純度炭化ケイ素焼結体「ピュアベータ」を完成させました。
焼結SiCは、純度が低いという常識をブリヂストンのピュアベータは覆し、すでに世界のトップレベルの半導体、装置メーカーに採用されています。
ピュアベータは、原料粉体合成から焼結、加工、洗浄まで、一環したクリーンラインで製造され、超高純度、優れた加工精度そしてコストパフォーマンスがピュアベータのKey Wordです。
半導体における次世代装置開発、製品性能向上、コストダウンを実現します。
PureBeta™の特徴
PureBeta™の歴史
| 1984～89 | ファインセラミックスの新規合成法を研究 SiCセラミックス原料粉の新規合成法を開発 |
|---|---|
| 1995～ | 高純度SiC粉体の製造技術を開発 半導体関連分野に向け開発 |
| 1998～ | ホットプレス法によるSiCの新規焼結技術を開発 原料の高純度を維持（PureBeta-S：オールSiC） SiCの反応焼結技術を導入（PureBeta-R：SiC/Si） |
| 2000～ | 半導体関連分野におけるSiC製品のマーケティング・販売活動を開始 |
| 2003～ | 先端機能材事業部発足 ISO9001：2000、JIS Q9001:2000を取得 |
開発製造拠点
- 粉体と焼結体の製造・加工・洗浄・評価分析に至るすべての技術を独自に開発しています。
- 全工程をクリーンルーム内で一貫製造しています。（一部加工除く）
